二手 PLASMATHERM LAPECVD LMTM #9382228 待售

PLASMATHERM LAPECVD LMTM是一種先進的低壓、低溫、微波等離子體增強化學氣相沈積（CVD）反應器。LAPECVD LMTM是一種獨特的、先進的吸收模式CVD反應器，以其低溫和壓力性能而著稱。反應堆的低溫和壓力能力是通過使用反應室內產生的微波等離子體進料氣體來實現的。這樣就可以更好地控制沈積過程。反應堆有一個圓柱形的不銹鋼腔室，帶有4英寸ID出口熱區、2英寸ID冷區以及位於活動臂上的變頻微波發生器。裝有裝有微波窗的石英管和頂載系統。頂部載荷系統由四個半球形板組成，它們可以一起調節以控制沈積過程。等離子體供氣通過狹縫閥以受控流量引入反應室。進料氣體的流動隨後指向擴散器，擴散器又使腔內的等離子體均勻化。擴散器還充當壓力調節器，使腔室能夠在低壓和高壓狀態下運行。利用直流（DC）偏置電源控制等離子體供氣的性能。通過施加負偏置電壓，電子會向底物加速，導致反應性增加，沈積速率提高。微波發生器耦合到等離子體維護模塊，這有助於將等離子體場維持在所需的操作參數。當適當調整時，等離子體的共振特性可以從啟動到整個過程中保持。這樣可以確保固體薄膜在基板上的沈積更加均勻。PLASMATHERM LAPECVD LMTM能夠在廣泛的基板上生產高品質的薄膜塗層。可能應用的例子包括氧化物、氮化物、預防性塗層和合金的沈積。其多功能性和可靠的性能使其成為幾乎所有沈積工藝的絕佳選擇。