二手 PLASMATHERM PK-1241 #9135300 待售

PLASMATHERM PK-1241是專門為沈積應用而設計的高性能等離子體反應器。反應堆配有高溫電容耦合等離子體源，以及用於精確過程控制的高速質量流控制器。該反應堆能夠達到高達130攝氏度的溫度，並且能夠以三種不同的模式運行過程--均勻、定向和單向。高頻、低壓放電確保即使使用具有挑戰性的工藝材料也能達到均勻和明確的薄膜。該反應堆能夠處理多種底物類型，包括矽、氮化物和多晶。它能夠快速沈積薄膜，從而縮短工藝時間，提高生產效率。反應堆裝有自動水冷，允許長時間有效運行。它還配備了一個人性化的HMI（人機界面），可以方便地對個別工藝配方進行編程。反應堆配有溫度感應系統，監測基板並優化工藝參數。此外，光發射光譜（OES）作為一個可選的功能，允許精確的過程監測和優化。該系統還具有薄膜端檢測功能，可在達到理想的薄膜參數後自動關閉等離子體放電。反應器室由不銹鋼構成，特別註重材料的兼容性和耐腐蝕性。它由三相電源供電，以確保安全運行。該反應堆符合CE/EMC標準,並獲得RoHS認證。此外，反應堆有兩種型號：PK-1241LAR和PK-1241NAR。PK-1241LAR是一個低電弧、大面積的反應堆，底物尺寸可達760 x 510 mm。PK-1241NAR是一個正常電弧的狹窄區域反應堆，底物尺寸較小，可達130 x 40 mm。這兩種型號均具有堅固的設計,易於安裝和操作,並能夠提供可靠和穩定的工藝結果。PK-1241是任何沈積應用中反應器的絕佳選擇。其精密的設計、高性能和用戶友好的特性使其成為在一系列基材尺寸上精確沈積薄膜的完美工具。