二手 PLASMATHERM SEV-2DC #9072382 待售

PLASMATHERM SEV-2DC Reactor是一種等離子體沈積/蝕刻工具，允許薄膜沈積到多種基板上。該反應堆采用經過工業驗證的平行板構型，允許在大面積上均勻沈積高質量薄膜。等離子體源是一種線性感應耦合等離子體（LICP）發生器，將高溫和高度可控的等離子體輸送到基板上。等離子體是通過對天線或電感施加高頻信號而產生的。等離子體源能夠支持各種蝕刻和沈積化學。反應器室由不銹鋼構成，在沈積過程中被密封以維持真空。內部冷卻由圍繞腔室壁的循環水套提供，以確保操作時基板溫度均勻。反應室配有兩個動力射頻匹配網絡和一個動力射頻調諧網絡，以確保沈積和蝕刻過程的最佳等離子體條件。除了反應室本身，反應堆還包括一些其他關鍵成分。這些是真空泵、負載鎖定、真空計、設備控制器、氣體面板、氣體輸送系統和溫度傳感器。真空泵負責疏散腔室和侍從管線，壓力由兩個真空計監控。載荷鎖用於從真空環境中引入和去除基板而不必破壞屏蔽層，雙門進入可防止腔室壓力損失。單元控制器是一種數字機器，為天線功率、射頻匹配網絡、沈積氣體壓力和反應物註入等所有參數提供用戶界面和控制。氣體面板負責引入適當的反應物進行蝕刻和沈積過程。SEV-2DC反應器是一種用途廣泛、功能強大的薄膜沈積和蝕刻工藝工具，在高度可控的條件下促進高質量的薄膜。該反應堆結合了經過行業驗證的特性、堅固的硬件和可靠的控制,在一系列過程中提供了卓越的性能。