二手 SENTECH SI ALD LL #293651896 待售
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SENTECH SI ALD LL反應器是一種最先進的設備，設計用於在低壓環境下進行納米級薄膜的原子層沈積（ALD），具有極好的均勻性和對沈積參數的改進控制。該系統由三個主要組成部分組成：反應堆室、單元計算機和控制單元。反應器室由一個不銹鋼真空室組成，該真空室容納底物、原料和反應氣體。還包括一個綜合資源處置單元和一個差動泵機。內部裝有Alkanicon™電子能量分析儀（EEM），用於監測基板沈積和過程控制。此外，該腔室還配備了幾個加熱元件和一個渦輪泵，以維持所需的大氣和壓力。該工具計算機是一個包含彩色觸摸屏顯示屏的緊湊型盒子，用於操作所有機器功能。這個單元配備了一個強大的處理器，能夠自動校準和控制ALD進程。它的軟件允許用戶通過定義沈積條件和參數來編程過程，同時允許手動調整。資產還具有預先編程的控制系統，以確保最佳和可重現的過程。最後，控制單元，或稱原子核，完全封閉，包含SENTECH模型的所有電氣元件。它包括幾個模擬端口、數字信號處理器（DSP）設備、伺服控制單元和高精度光纖溫度控制系統。該單元安裝在室外，采用模塊化設計，便於安裝和維護。SI ALD LL反應器是一種現代且功能豐富的裝置，旨在以安全高效的方式提供精確的納米級薄膜沈積。憑借先進的技術部件，該機器能夠處理各種沈積過程，適合生物信息學、半導體、航空航天等行業。
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