二手 THOMAS SWAN / AIXTRON CCS #293630289 待售
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THOMAS SWAN/AIXTRON CCS是一種等離子體增強化學氣相沈積（PEVCD）反應器，設計用於制造一系列半導體薄膜。AIXTRON CCS反應堆使用寬孔系統提供了一個較大的沈積區域，使系統可以靈活地為許多不同的應用生產一系列薄膜。寬孔系統還允許高通量和高精度控制薄膜厚度。THOMAS SWAN CCS配備了一個超高頻（UHF）射頻（RF）源和一個等離子體電離源，以激發用於制造薄膜的沈積反應。超高頻源的工作原理是在基板和射頻源之間產生交替的電場，進而導致等離子體電離，並將反應性材料沈積到基板上。除了超高頻源外，CCS還包括一個大功率直流電（DC）源來執行持續等離子體點火。直流源的作用是創造一個長壽命的電場，這有助於維持等離子體的形成。它還確保等離子體電離、離子能量和沈積速率一致。此外，直流源允許非常低的底物溫度，這有助於降低沈積過程中底物損壞的風險。THOMAS SWAN/AIXTRON CCS也有多個沈積氣體入口，允許控制和可變濃度的前體材料。氣體入口還包括一個淋浴噴嘴，用於更均勻地輸送前體材料，以實現更均勻的薄膜沈積。此外,AIXTRON CCS還包括一個自下而上的敏感劑,可幫助將基板保持在一致的溫度和壓力下,從而確保整個薄膜均勻沈積。THOMAS SWAN CCS反應堆設計方便用戶，其先進的工藝控制為用戶提供可靠和可重復的結果。CCS反應器非常適合生產技術先進的薄膜，適用於各種半導體，包括晶體管和太陽能電池。
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