二手 THOMAS SWAN / AIXTRON CCS #293630290 待售
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THOMAS SWAN/AIXTRON CCS是一種最先進的復合半導體反應器，專門為復合半導體工業內復雜材料的沈積而設計。AIXTRON CCS提供安全的通量控制級別,允許通過其PI控制的閉環操作創建精確和可重復的觸點、特征和模式。這種安全的通量控制是由於THOMAS SWAN CCS獨特的分支路徑體系結構提供了直接的熱流控制。此外，CCS擁有廣泛的可控工藝參數，使其成為強大的沈積工具。它提供高達1000 °C的溫度範圍和高達4000 Torr的壓力，允許大量的精密晶體和薄膜沈積。此外，還通過THOMAS SWAN/AIXTRON CCS優越的氣體輸送網絡對過程氣體輸送進行精確的調制和監測。控制過程氣體的壓力、溫度和流量可以使用戶精確地精確地獲得所需的沈積物。此外,AIXTRON CCS還配備了先進的光學和計量分析工具,使用戶能夠輕松監控和記錄在線生產結果。光學發射光譜學（OES）和基於彈性的實時層厚度測量等特征允許對該過程進行實時控制，再次允許創建復雜的特征。總之，THOMAS SWAN CCS是一種用於復合半導體材料沈積的強大而精確的反應器。其安全的通量控制水平和一系列可控制的工藝參數可以產生復雜、復雜和精確的沈積物，而其光學和計量分析工具可以對生產過程進行實時控制和監測。
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