二手 TOSHIBA / NUFLARE EGV-28FM #9069033 待售

TOSHIBA/NUFLARE EGV-28FM是一種高性能電子束光刻設備，設計用於生產用於制造半導體器件的基礎晶片的先進材料。該系統由直徑為14厘米的直寫槍組成，能夠產生尺寸可達8納米的非常精確的圖案。它還能夠將光束極精確地定位在晶圓上，這是制造高精度半導體結構所必需的。該單元設計用於處理300毫米或以上、最多28英寸晶片的晶片。機器可以加工砷化的、矽的、磷化的等底物。它具有繪制一系列結構的能力，如高長寬比通風孔、觸點、納米、各種金屬和聚合物。該工具也可用於對齊，方法是將晶圓上的配準標記與繪制的圖樣重叠。該槍安裝在一個可旋轉的級，這允許精確的對準和更均勻的光束強度跨越晶圓。該級提供了納米級的精度，也允許電子束的快速和精確的定位，減少過程時間和提高吞吐量。電子束是利用極高亮度的沖擊電離型電子源產生的。源可以在1mA到30mA的各種電流水平下操作，從而可以調節光束的強度。該資產還具有用於設置和維護光束質量的高分辨率點監視器。它還可以配備室內晶片裝卸設施，對準精度優於50微米。室內的電子束活化等離子體可用於加工敏感材料。該腔室由超高真空批準的不銹鋼制成，設計用於低真空顆粒計數。模型中的高壓電源能夠提供從0V到50kV的加速電壓，並且設計為確保安全可靠的運行。東芝EGV-28FM是生產新材料的先進設備，分辨率高，精度高。它可以用來制造基礎晶片的各種結構，能夠容納任何尺寸的晶片，使其成為下一代半導體器件的理想選擇。