二手 TOSHIBA / NUFLARE EGV-28GX #9069032 待售

TOSHIBA/NUFLARE EGV-28GX是一種超高能電子束反應器，設計用於各種電子應用。憑借其28 mm2 （28 cm2）的有源面積和高達40 kV的輸出光束，這一設備非常適合用於光刻膠、顯示面板、晶圓處理等多種微電子。它的高能電子束創造了一個通過等離子體輔助過程進行蝕刻、清潔、沈積和燒結的平臺。東芝EGV-28GX采用多級激光光線掃描系統，與單束和多束掃描系統相比具有良好的光束穩定性。多級OMS單元由兩個獨立的控制系統組成，一個用於控制激光發射器，另一個用於控制電子束。此外，NUFLARE EGV-28GX包括幾種激光聚焦模式，為在平方毫米範圍內蝕刻或圖案化小特征提供最高分辨率和精度。EGV-28GX利用鍍鎢薄膜噴槍創造了均勻的能量分布和更精確的能量沈積剖面，優化了工藝生產。其電容控制、離子阻斷的集成電子槍提供了一致、低像差的電子束，以提高過程均勻性。此外，背面氣體收集器允許完整的沖洗蝕刻過程，消除離子汙染的風險。先進的計算機控制機在工藝參數選擇方面提供了極大的靈活性，讓研究者在單行程或脈沖操作和其他可用工藝參數之間自由選擇。TOSHIBA/NUFLARE EGV-28GX提供了廣泛的參數修飾符,加上易於使用的圖形界面,使其成為精密晶圓處理的理想選擇。東芝EGV-28GX是一個非常可靠的工具，提供統一的處理。它小巧的腳印和多功能性使其成為任何實驗室或研究設施的理想資產。NUFLARE EGV-28GX憑借其精密和先進的功能，正迅速成為電子束光刻和加工應用的領先選擇。