二手 ULTRATECH / VEECO Savannah G2 #9396984 待售

ULTRATEC/VEECO Savannah G2是一種原子層沈積（ALD）反應器，主要用於沈積廣泛的薄膜。它可以精確控制薄膜從直徑幾到幾百納米的生長。該設備為單室大氣壓ALD反應堆，采用冷壁技術進行工藝氣體分配。該系統能夠處理低至-40 °C的溫度和一系列反應性氣體混合物，使其能夠沈積氧化物、氮化物和金屬等材料。VEECO Savannah G2配備了兩個適合高反應性氣體的淋浴頭氣體噴射器。這些噴射器設計成在低流量下提供均勻的氣流。而且，淋浴頭適合批量加工操作，因為它帶有一種脈沖形式的材料沈積的爆裂模式，確保了均勻和可重復的結果。此外,該設備還配備了快速溫度傾斜功能,可提供高通量過程,例如當樣品需要在兩個周期之間加熱和冷卻時的薄膜生長。而且，機器還配備了氮氣凈化工具，用於在使用水、羥基等高反應性氣體時控制室內壓力，以降低沈積速率。此外，該資產還有一個集成的光學高溫計，為控制腔室溫度提供準確的熱數據和實時反饋。借助其機械翻蓋室的開口，用戶無需拆除或修改部件即可輕松進入該室。它還配備了高級控制軟件，提供了根據用戶需求定制流程的平臺。ULTRATECH Savannah G2能夠達到高達5nm/min的增長率，在多次沈積同一膜時具有非常好的重復性。已成功用於研發新材料，也用於生產微處理器、太陽能電池、發光二極管等薄膜器件。