二手 ULVAC CC-400 #9395962 待售

ULVAC CC-400是一種化學氣相沈積反應器，旨在快速準確地制造各種材料組成的薄膜，用於微電子、光電子等精密應用。反應堆由形成工藝室的石英管組成，允許使用者在所需工藝條件下控制大氣。加工室被底板和鐘形罐包圍，以容納工藝氣氛。同時加熱基板和鐘形罐以保持反應器內的恒溫。CC-400使用高純度氣體，例如氮氣、碳氫化合物和其他作為加工氣源的氣體來制造所需的薄膜，通常是通過熱分解過程。氣體可以通過質量流控制單獨或同時引入反應堆。還可以根據需要集成可選的質量流控制器和氣體混合系統。ULVAC CC-400的腔室通過機械和渦輪分子泵送系統的組合保持在真空中，根據氣體組成和反應堆的大小提供了廣泛的可實現的過程壓力。該系統還采用了高功率密度、射頻感應加熱系統，以實現高效的薄膜生長，以及可選的熱阻加熱器或燈，以增加加熱能力。CC-400提供了通過動態溫度傾斜和從0°C-1,000°C精確溫度控制來靈活控制溫度的方法。為了精確控制，可以將PID控制系統集成到反應堆中，以精確控制反應溫度。該室有內置的溫度監控器和相應的警報，以便進行溫度監測和安全控制。總體而言，ULVAC CC-400是一種可靠、靈活的CVD反應器，適用於各種薄膜生長應用。它提供了良好的過程控制，包括氣體混合，溫度控制和真空水平控制，允許在各種操作條件下精確的薄膜增長。