二手 ULVAC CME-200J #293810220 待售
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ID: 293810220
優質的: 2008
PECVD System
Chamber
Controller
(4) Gas boxes
(7) Pumps
Gas scrubber
Accessories
Manuals
Power supply
PC
2008 vintage.
ULVAC CME-200J是一種用於沈積過程的雙頻工業等離子體反應器.配備13.56 MHz（直流磁控管型）和2.45 GHz（單頻型）兩種頻率。反應堆可以加工多達9英寸的晶圓基板，可以很容易地適應從材料開發到晶圓級生產的各種需求。它配備了一個工藝氣體混合器，允許對工藝氣體的混合比進行精確的控制，允許精確的沈積控制。它還具有自動電源控制系統和氣流控制器.反應堆有一個圓柱形的腔室，體積為11.2L，電極直徑為200mm，適合廣泛的蝕刻、沈積和灰化應用。此外，它還配備了遠程匹配網絡，有助於在運行過程中保持穩定的等離子體環境，同時提高負載匹配精度。此外，該反應器被搪瓷，以確保一個不透水的，耐腐蝕的表面，以防止加工氣體與腔室表面的反應。反應堆利用渦輪分子泵在腔室內產生真空，允許直接控制腔室壓力從1x10-3到1x10-7 Pa，還配備了能精確控制腔室內底壓的壓力均衡機構。此外，該系統還采用了同時反應控制技術，並將其集成到過程控制軟件中。這確保了穩定和一致的過程性能,即使在批處理過程中也是如此。為了安全起見，CME-200J配備了各種保護功能，如壓力檢查和鎖定、靜音模式以及由壓力開關監控的真空泵。它還配備了安全措施，如用於腔室進入和熱監測儀的安全聯鎖裝置。此外，該系統設計為在室內最高+50°C的溫度範圍內運行，並進一步配備減熱技術，以確保安全運行。總之，ULVAC CME-200J是一種強大而可靠的工業等離子體反應器，設計用於沈積過程和多晶片基板加工。它配備了各種自動化過程控制，以精確控制沈積過程，並設計了多種安全功能，以確保隨時安全運行。
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