二手 ULVAC CME-400ET #9266625 待售

ULVAC CME-400ET是為先進半導體芯片生產而設計的電子束（EB）物理氣相沈積（PVD）沈積系統。CME-400ET由真空室、EB槍和水平電源組成。真空室設有可打開的門，采用不銹鋼制成。EB槍用來產生電子束，這些電子束被植入真空室內的基板上。水平電源產生必要的電場，使電子束加速向底物。ULVAC CME-400ET的EB槍裝有連接的DLC薄膜絕緣體和柵極，以防止能量損失。變電壓和電流的調整直接影響光束的電流密度和密度分布。為確保薄膜沈積內的重復均勻性，安裝了可調節的偏轉電極，以實現精確的偏轉角度和方向。可變對峙和快門等附加功能允許完全控制EB光束的特性。CME-400ET的主室尺寸直徑為400-450毫米，高度為200-250毫米。為了保持一個一致的真空環境，系統補充了雙級粗加工泵和主動氣體出血系統，使最終背景壓力達到10-7 Torr。磁控濺射源也可加入金屬或氮化物沈積。高端ULVAC CME-400ET電子束技術提供精確可靠的薄膜開發，使其成為半導體行業的寶貴工具。其緊湊的設計，強大的真空能力，以及提供發散控制的能力，使得這種反應器非常適合制造高性能的集成電路。憑借其卓越的性能，CME-400ET是先進半導體芯片生產的理想選擇。