二手 ULVAC CME-400ET #9279188 待售

ULVAC CME-400ET是為PVD/CVD、蝕刻和其他應用而設計的高性能基板-電鍍反應器。該反應堆能夠高速運行，使其能夠在載波基板上產生尺寸達200毫米的優質沈積物。它配備了層壓定位器設備，確保在蝕刻過程中精確蝕刻和圖樣傳遞。該系統提供的速度和精度使薄膜和均勻膜的沈積成為可能。CME-400ET利用低溫電弧維持技術控制基板表面溫度。這既影響了沈積膜的工藝速度，也影響了沈積膜的均勻性和質量。電弧維持技術還確保避免了基板上不必要的熱應力，這對於先進的傳感器和高度精確的電子元件尤為重要。ULVAC CME-400ET配備了高真空室和創新的氣流管理單元，為工藝氣體成分提供了卓越的清潔和精確控制。這種先進的反應堆確保了在廣泛的溫度範圍內卓越的工藝性能和一致的基板表面質量。為了進一步促進高性能的非無功過程，CME-400ET安裝了電容電壓控制機。ULVAC CME-400ET配備通用遙控器，便於監控、數據記錄和腔室條件參數調整。該工具非常適合那些由於能夠調整電流、氣流、腔室溫度等參數而需要對其鍍層過程進行更精確控制的研究人員。總體而言，CME-400ET是一個可靠、高性能的反應堆，具有滿足各種應用和底物要求的靈活性。憑借其優越的速度和一致性，這種強大的資產能夠沈積薄薄的，甚至薄膜上的各種基板幾乎沒有熱應力。它的智能設計便於對過程參數進行精確控制，允許用戶實時調整和監控條件，以達到最佳效果。