二手 ULVAC CPD-1210 #9055162 待售

ULVAC CPD-1210是一種化學氣相沈積（CVD）反應器，設計用於將薄膜沈積到半導體基板上。CPD-1210有一個垂直安裝的反應堆主體，裏面裝有石英管、內部霧化器和加熱元件。石英管包含一個氣體入口、氣體出口，並襯有水套以維持管的適當溫度。內部霧化器提供氣體分子在半導體底物上的均勻分布。ULVAC CPD-1210是一個兩步過程，第一步是對基板進行預塗，第二步涉及實際沈積。在預塗層步驟中，將預分解氣體引入石英管，加熱至適合處理基材的溫度。預分解氣體有助於分解反應物分子，使它們更均勻地沈積在底物上。然後將基板暴露於沈積氣體中，沈積氣體通常是金屬形成氣體和含有沈積薄膜的材料的氣體的組合。沈積氣體的溫度高於預塗層步驟，並帶有內部霧化器，提供了薄膜在基板上的均勻沈積。CPD-1210還具有其他功能，包括射頻發生器和獨立的烘焙室，可在同一反應堆室中同時使用預塗和沈積氣體。ULVAC CPD-1210具有單一的源、低壓室，使各種材料如金屬、金屬氧化物、電介質和半導體能夠沈積。腔室能夠達到1200 °C的最高溫度，提供了控制和提高反應速率和薄膜質量的靈活性。總體而言，CPD-1210是薄膜沈積的理想CVD反應器，為不同材料的沈積提供了均勻性、高溫控制和靈活性。ULVAC CPD-1210是在短時間內生產高質量薄膜的有效且通用的工具。