二手 ULVAC EBH-6 #9053833 待售

「ULVAC EBH-6」是等離子體增強型化學氣相沈積（PECVD）反應器的高性能、環保、經濟的系列，旨在使薄膜層精確高效地沈積在半導體基板上。這一系列反應堆利用能量效率高、運行溫度低的濃縮等離子體，提供一致和優化的沈積結果。此外，EBH-6系列可用於有效沈積無機和有機過程，包括氧化物、氮化物和有機薄膜。ULVAC EBH-6系列提供了豐富的功能,使用戶能夠精確控制沈積過程。這包括一個高精度的石英監測儀，用於測量實時和過程後沈積結果，以及一個獨特的計算機控制的電弧偏置系統，用於精確控制沈積速率和薄膜厚度。內置的壓力控制系統可以讓用戶調節壓力、溫度和氣體流量，確保最優的過程穩定性和可重復性。EBH-6系列的設計考慮到了安全性。移動鋁噴射器提供了一個易於使用的界面與集成的安全系統，如壓力和溫度控制，地面故障保護。在水冷電極周圍使用集成的法拉第籠提供了對等離子體產生的EMI的保護。此外,內置的安全功能允許對真空系統進行全面控制,即使在緊急鎖定期間也是如此。此外，ULVAC EBH-6系列提供了多種操作模式，以便優化效率和成本效益。這包括備用模式和節能模式,使操作員能夠顯著降低功耗和/或調整不同作業的生產速度。這些功能使EBH-6在節省成本方面極具競爭力。總體而言，ULVAC EBH-6系列是尋求高效、經濟的薄膜沈積解決方案的理想選擇。憑借其高性能、精確度和生態友好性，可以依靠它提供一致、高質量的結果。