二手 ULVAC EBS-10A #9053858 待售

ULVAC EBS-10A是一種適合thin‐film沈積的濺射設備。它采用反應性濺射工藝，將目標材料引入真空泵產生的真空中。目標連接到高壓電源，導致目標材料在施加電壓時濺射。EBS-10A是一個易於使用的系統,具有自動化的、自行設計的操作面板,允許用戶節省時間並增強實驗執行。這是通過在設備上實施自動化的高級命令和自我診斷功能來實現的。用戶界面有直觀的圖形設計和簡單的導航命令。ULVAC EBS-10A具有很大的有效沈積面積，能夠在基板上產生高達13mm的薄膜。它采用三槍並聯的DC-DC無功濺射機，能夠與3D-structures實現最佳兼容。EBS-10A是一個堅固的工具，具有緊湊，強大的設計，以提高穩定性。這樣可以確保長期可靠和可重復的薄膜沈積。該資產還可以提供復雜薄膜的高質量沈積，而無需高成本耗材。ULVAC EBS-10A利用離軸式濺射室進行高速沈積。該腔室配有質量流控制器和循環通風室模型，能夠實現廣泛的濺射氣體混合物和速度，以及大的底物容量。EBS-10A具有一系列可調參數，可用於最佳薄膜沈積。該設備具有可調壓力和溫度的工藝區域，能夠優化所有參數以獲得所需的結果。此外,用戶還可以調整濺射氣體類型、沈積來源、功率水平和厚度.ULVAC EBS-10A是一個功能強大、用途廣泛的系統，適用於多種類型的薄膜沈積任務。對於需要低維護操作、希望擁有廣泛控制參數以產生最佳和質量效果的用戶來說，這是一個絕佳的選擇。