二手 ULVAC EBX-10D #293621576 待售

ULVAC EBX-10D是一種行星齒輪式、兩級渦輪分子真空泵系統，設計用於在反應堆基板加工過程中創造高真空環境。EBX-10D將行星齒輪的優越性能與渦輪分子泵相結合，使其成為半導體、光盤和顯示行業要求較高的真空過程的理想選擇。ULVAC EBX-10D采用兩級油門式渦輪泵，使真空泵送速度達到3.2 x 10-2 Pa升/秒，最終壓力為5 x 10-7 Pa TM （Torr）。這是通過采用可變控制器實現的，使EBX-10D成為同級別的渦輪分子泵中最快的。可變控制器將渦輪泵的最大轉速從400 r/min調整至1200 r/min，從而實現了卓越的靈活性和性能。此外，ULVAC EBX-10D配備了高性能的行星減速齒輪，能夠抑制渦輪泵旋轉進氣口的扭矩波動，以減少振動。此功能可確保穩定運行,即使馬達轉速迅速改變也是如此。再者，行星齒輪降低了馬達的噪音，允許安靜的操作，減少了腔室內部的負載。此外,EBX-10D還提供了多種功能,旨在使操作和維護盡可能簡單明了。內部風扇組件易於拆卸清洗，並監控排氣溫度，防止過熱。潤滑油儲層可以方便地進入和補充，控制器同時監控泵的外部和內部溫度。此外，ULVAC EBX-10D還具有多種安全功能，如液晶顯示器和安全閥，以確保用戶隨時安全。總體而言，EBX-10D是一個特殊的反應堆系統，提供卓越的性能和易於維護。它非常適合處理具有挑戰性的真空過程，其令人印象深刻的速度和低振動能力確保了可靠和一致的操作。此外，其合理的安全措施進一步使其成為任何反應堆系統的頂級選擇。