二手 ULVAC EBX-10D #9102139 待售
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ULVAC EBX-10D是一種具有高功率等離子體工藝的多功能第三代EB等離子體源,非常適合廣泛的工業用途。這個反應堆能夠產生非常高溫的等離子體.它由電子束（EB）和外部供應的能量為10 MeV的電子組合提供動力。EBX-10D具有低壓電源，它可以提供非常高的電子束加速功率。ULVAC EBX-10D除了其高功率等離子體工藝外，還使用戶能夠執行多種工藝，如濺射、蝕刻、分層以及產生反應性離子交換物種。此外,EBX-10D提供了非常廣泛的控制設置,允許在流程基礎上進行定制,以實現更好的流程控制和優化。它的設計考慮了安全性，因為它具有緊急互鎖系統和過電壓保護功能。ULVAC EBX-10D能夠在其主室內達到高達15,000攝氏度的溫度。它在腔室外側設有石英窗，可以連續查看等離子體形成。此外，該反應堆還具有環境控制系統，這使得保持過程環境的完整性更加容易。由於模塊化設計,EBX-10D具有很高的適應性,它允許安裝各種可互換組件。反應堆配有旋轉電動機，使其能夠在濺射或蝕刻過程中旋轉基板，從而產生更均勻的沈積。此外，ULVAC EBX-10D具有超高通量設計，允許非常高的負載能力，使其最適合於能夠處理大批量底物的反應堆。EBX-10D具有成本效益,對工業應用具有吸引力。它安全、可靠、高度可靠，是滿足廣泛工業需求的理想選擇。它不僅具有強大的管理範圍廣泛的流程的能力,而且還為用戶提供了允許可定制性的高度控制,這在工業流程中非常重要。
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