二手 ULVAC EBX-8C #9053841 待售

ULVAC EBX-8C是為特定工業應用而設計的低壓電子束（EB）反應器。它是一種緊湊、串聯、中等功率、基於EB的塗層系統，提供精確、高精度的薄膜沈積。EBX-8C是一種高性能反應堆，具有高度流線型設計、低能耗和小占地面積等卓越特性。ULVAC EBX-8C可以在低真空壓力和高真空壓力下運行,並且可以達到10⁻¯6到5.0E-4 Pa的工作真空壓力,這確保了對均勻性和層厚等沈積參數的精確控制。反應堆還具有極低的基壓，低於10⁻¯7 Pa，這允許在工藝室中產生低殘壓幹擾和接近相等的粒子軌跡。EBX-8C使用連接到槍組件的EB源,該EB源被送入裝有所需工作氣體的特殊腔室。EB源由燈絲、控制柵格、加速距離和集電極組成。可調整EB源以提供最佳膜沈積所需的電壓和能級。加速度距離可調，允許對光束能量進行精細控制。在加工室內，EB光束使用聚焦透鏡和轉塔等光學元件指向工件。工件放置在可旋轉的基板級上，並用真空夾緊系統固定到位。擋板加工室即使在高長寬比的困難幾何中也能確保沈積膜的高均勻性。ULVAC EBX-8C具有全自動過程操作和高級控制電子設備。交互式可編程邏輯控制器（PLC）提供了四種不同的加速度和總加速度操作模式。它還提供幾種安全控制,包括溫度、背壓、腔室壓力等.EBX-8C的額定功率為8 kW,可以在0到380C的溫度範圍內運行。ULVAC EBX-8C配備了多種配件和備件，如額外的鏡頭、工件支架、防護罩、冷卻系統、目標級等。這確保了EBX-8C的可靠和高效的操作和維護。