二手 ULVAC EBX-8C #9397455 待售

ULVAC EBX-8C是一種用於薄膜工業的單端、批處理、高反應性設備。這種反應器被用於廣泛的過程，如鍵合、濺射、薄膜形成、化學氣相沈積（CVD）和等離子體增強的CVD（PECVD）。系統獨特的圖形用戶界面UwinTM允許快速、輕松的進程參數預覽。EBX-8C有一個微處理器控制，直徑為300毫米（1.2英寸）的反應室，有一個300毫米可打開的電渣樣品室。該設備的多個工藝室可實現高效、高吞吐量的處理,並提供卓越的環境兼容性。ULVAC EBX-8C的多區溫度管理機在緊密穩定的工藝參數下確保高質量的薄膜。EBX中還包括一個可調諧的頻率控制的1300 W直流射頻發生器，允許300MHz調諧範圍。LCD顯示屏上的EBX-8C配備了高精度的氣體供氣分析工具，並對氧氣和硝酸氯進行了快速監測。ULVAC原有的可選資產控制器提供廣泛的精密控制功能，如空氣和水的聯鎖、反應物氣流測量和露點控制，以及真空和壓力控制。EBX進一步配備了疏散轉運室和負載鎖模型。這確保了無塵環境，並防止反應室暴露於外部環境，使得EBX成為低缺陷處理的理想選擇。ULVAC EBX-8C還通過了EMC對7個主要標準的兼容性測試,並通過了一系列CE應用程序的認證,非常適合安全的工業應用程序。為確保安全,EBX-8C與ULVAC系列其它批量濺射系統共享許多功能。這包括空氣和水聯鎖系統、緊急關閉開關和真空聯鎖。ULVAC EBX-8C的20個可編程功能控制設備也允許用戶進一步定制反應堆參數，以適應他們的工藝需求。總之，EBX-8C是一種高效、多用途的反應系統，設計用於處理一系列高精度薄膜工藝。其獨特的圖形用戶界面，加上一系列先進的安全功能和精密的過程控制系統，使其成為一系列批處理應用的理想解決方案。