二手 ULVAC ED-60000-D14 #9053842 待售

ULVAC ED-60000-D14是一種先進的蝕刻反應器,專為各種研究應用而設計.它具有一個內徑為6英寸的加工室，能夠處理範圍廣泛的基板，溫度不超過1400 °C。反應堆還配備了先進的壓力控制設備和高速氣體淋浴，以確保精確和一致的蝕刻過程控制。ED-60000-D14設計用於為一系列基材（包括Si、SiO2、GaN、GaAs和其他材料）提供出色的蝕刻工藝性能。它能夠在1350°C的溫度下處理材料，允許以最高精度重復蝕刻。該反應堆還具有ULVAC獨特的氣體淋浴裝置，可快速確保工藝室內所需的氣體成分。這樣可以更好地控制蝕刻過程,並改善批對批的均勻性。ULVAC ED-60000-D14有一個1,400升的工藝室，在15 torr的最大減壓下運行。這樣可以縮短循環時間,同時保持蝕刻精度。此外，高速氣體淋浴確保了一個統一、穩定的氣體環境進行精確的蝕刻控制。計算機控制的壓力控制系統能夠實現均勻、穩定的蝕刻速率，以高質量地生產復雜的圖樣和復雜的結構。為降低室壁溫度,ED-60000-D14采用增強的隔熱套設計.此功能有助於最大程度地減少蝕刻過程造成的熱損失。它還提供了改進的工藝室溫度均勻性和可控性以及改進的工藝窗口。集成的HeTCA冷陷阱進一步提高了氣體單元性能，提供了20 mTorr或更低的清潔氣體環境。ULVAC ED-60000-D14還提供了一種先進的真空泵機器，專為長壽命運行和低擁有成本而設計。該工具利用隔膜泵、分子阻力泵和增壓渦輪泵實現20 mTorr或更低的底壓，從而實現精確的氣體控制和蝕刻條件。在安全方面，ED-60000-D14具有先進的安全資產。它有多個故障檢測系統，設計用於檢測工藝室問題，包括廢氣異常、電弧和加熱程序異常。該模型還執行自動環境監視和故障阻止。除此以外，ULVAC ED-60000-D14還有一個液氮冷卻設備，通過避免任何異常的腔室溫度有助於確保安全運行。總之，ED-60000-D14是一個先進的蝕刻反應器設計用於研究的應用。它有一個6英寸的加工室，能夠加工各種基板，溫度不超過1400 °C。ULVAC ED-60000-D14還采用高速氣體淋浴和壓力控制系統進行精密蝕刻過程控制。此外，反應堆還具有多種安全特性，如液氮冷卻裝置和監測機器，以檢測異常室內溫度、電弧和氣體泄漏。最後，ED-60000-D14還包括隔膜泵、分子阻力泵和用於有效真空維護的增壓渦輪泵。