二手 ULVAC EX-550-C10 #9078375 待售

ULVAC EX-550-C10是一種高性能等離子體增強化學氣相沈積（PECVD）反應器，旨在為一系列應用沈積一系列材料。反應堆具有簡單、耐用的不銹鋼腔室和全面的計算機自動化，易於使用，實現了高質量、可重復的結果。這座反應堆配備了最先進的電子回旋共振（ECR）羽狀包絡，以實現最大均勻性，提高加工速率，提高層質量。獨特的ECR構型允許一個非常均勻的等離子體源和一個非常受控的高能環境，導致材料的穩定成核和更好的材料性質的保留。系統可以在450°C的最大基材溫度下處理直徑達5.7英寸的晶片。ULVAC EX 550-C10具有一整套自動血漿診斷功能，包括實時血漿成像和車載光發射光譜（OES）系統。這樣就可以對等離子體條件進行全面監測，以最大限度地提高工藝產量並提高層質量。另外，GASBOX可變水平的反向氣體引入可以進一步優化沈積速率。該反應堆的其他特點包括具有先進脈沖控制的固態發電機、自動腔室清洗和膜厚度監測器。這樣可以精確控制基板的加熱和冷卻、基板的移動,並提供可重復的過程.總的來說，EX-550-C10為許多應用提供了一個成本效益高的高質量薄膜沈積解決方案。