二手 ULVAC EX-650-C16 #9053847 待售

ULVAC EX-650-C16是一種用於生產電子元件的高端串聯射頻（RF）無功離子蝕刻器（RIE）設備。該系統利用多項技術進步，以無與倫比的吞吐量對材料進行精確的蝕刻。EX-650-C16單元由反應堆主室、上層預室、集成樣品裝載機、計算機控制氣體噴射工具和處理後等離子體室組成。主反應堆室裝有兩個16英寸的電線桿和一個8英寸的電線桿，2KW RF電源能夠達到2.3 Torr的真空壓力。這樣可以實現高達0.1um/min的極高蝕刻速率。它還使用基於四象限設計的湍流優化資產，允許增強蝕刻圖案形成的均勻性。上層預制室采用兩級等離子體優化模型，采用三個電極銷，有助於對精細材料和基板進行精確、高速率的蝕刻，其蝕刻速率甚至高於主反應器室。集成的樣品裝載設備可通過自動距離、固定和定向控制功能輕松更換樣品。它還提供了處理敏感材料的安全環境。ULVAC EX-650-C16先進的氣體註入系統允許精確的體積控制和將化學品引入反應堆的內部壓力室。該單元允許對更多奇特材料或分層基材的蝕刻進行精確優化。最後，後處理等離子體室采用兩個25英寸的紫外線燈，壓力可達6 Torr，可以進行高精度的後處理。EX-650-C16的所有這些特點共同創造了一個RIE機器，它提供了工業上目前可用的任何反應堆的最一致的準確和精確的蝕刻輪廓之一。