二手 ULVAC SMD-950 #293821690 待售

製造商
ULVAC
模型
SMD-950
ID: 293821690
Metal PVD Systems.
ULVAC SMD-950是一種最先進的磁控管濺射設備,專為半導體、光學和可再生能源等多種行業的先進薄膜沈積工藝而設計。該反應堆以其高性能、可靠性和可擴展性而著稱,是薄膜沈積中需要精確控制和均勻性的研究和生產環境的理想選擇。SMD-950的核心是磁控管濺射技術,利用物理氣相沈積現象將薄膜沈積到基板上。這一過程涉及在真空室中轟擊帶有高能離子的目標材料(陰極),導致來自目標的原子被噴射並沈積到基板上,形成薄膜層。磁控管濺射的使用允許對薄膜厚度、成分和結構進行精確控制,從而產生附著力和性能特性優良的優質薄膜。ULVAC SMD-950的一個關鍵特征是它的多目標構型,使得具有不同組合物的復雜多層薄膜的沈積成為可能。此功能對於制造具有特定光學、電子或機械性能的先進材料和設備至關重要。該系統配備了多個磁控管源,每個磁控管源包含不同的目標材料,允許不同層的順序沈積而不會破壞真空。這種靈活性對於確保先進薄膜應用的工藝效率和一致的薄膜質量至關重要。此外,SMD-950通過其先進的軟件控制單元提供了高度的自動化和可重復性。操作員可以使用直觀的用戶界面輕松編程和監控沈積速率、功率密度、氣流和基板溫度等沈積參數。該機器還具有現場監測和控制機制,如石英晶體微天平和光發射光譜,能夠實時分析薄膜特性和工藝條件。除了先進的技術能力外,ULVAC SMD-950還考慮了人體工程學、安全性和維護。反應堆配備了方便出入的門、集成的安全聯鎖、堅固的真空泵送系統等人性化功能,可高效運行維護。該工具可以定制各種可選組件,如鎖載室、基板加熱器和等離子體清洗系統,以滿足特定的工藝要求,提高整體生產率。總體而言,SMD-950為磁控管濺射系統設定了性能、通用性和可靠性方面的新標準。無論是用於研究還是生產目的,這種反應堆對薄膜沈積過程提供無與倫比的控制,使先進材料和裝置的制造能夠精確和一致。ULVAC SMD-950以其先進的技術和用戶友好的設計,是推動各行業薄膜技術創新的寶貴工具。
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