二手 ULVAC SOLCIET #9053849 待售

ULVAC SOLCIET反應堆是一類濺射和等離子體蝕刻反應堆。SOLCIET反應堆利用磁增強濺射和貝塞爾離子源等離子體蝕刻技術生產高質量的薄膜、納米結構和材料。該反應器提供了出色的蝕刻均勻性、極致的加工靈活性，以及幾乎100%的室內離子束誘導的等離子體蝕刻控制。濺射過程的工作原理是用原子或離子轟擊目標材料，以便用所需的材料覆蓋基材。ULVAC SOLCIET反應堆除了可以將材料沈積到基板上之外，還可以將其蝕刻掉。這是通過貝塞爾離子源等離子體蝕刻過程完成的。Bessel-ion-source技術利用脈沖電磁（EM）場對離子進行聚焦，以便有效蝕刻掉不需要的材料。這項技術還使操作員能夠精確控制蝕刻過程中使用的離子數量和類型。SOLCIET反應堆由於其磁場技術增強的濺射和貝塞爾離子源等離子體蝕刻工藝，在蝕刻方面提供了前所未有的均勻性。這在需要精確蝕刻的應用中尤其有益，例如納米結構的生產。ULVAC SOLCIET中使用的磁場使帶電粒子在整個基板表面上的分布更加均勻，導致更大的蝕刻均勻性。此外，這些反應堆還能夠提供近100%的室內離子束誘導的等離子體蝕刻控制。通過使用強大的「新光學」鏡頭，SOLCIET可以將離子束聚焦到一個很小的點，從而能夠非常精確地控制蝕刻過程。這在小規模或高精度應用中特別有用。ULVAC SOLCIET也因其極大的靈活性而受到稱贊。它的模塊化設計允許方便地在各種兼容的ULVAC濺射和等離子體蝕刻模塊之間切換，允許為每個應用程序量身定制的設置。此功能允許性能優化和成本效益。總之，SOLCIET是生產優質薄膜、納米結構、材料的絕佳工具。其強大的技術、多用途的設計和精密蝕刻能力，使其成為濺射和等離子體蝕刻領域有前途的趨勢引領者。