二手 ULVAC VEP-1000 #9313810 待售

ULVAC VEP-1000是一種垂直電子回旋共振（ECR）反應器，設計用於高通量化學氣相沈積（CVD）過程。ECR反應堆用於創建等離子體，然後成為CVD過程所需的自由基來源。VEP-1000最適合用於石墨烯生長等應用，許多ECR反應堆就是這種情況。ULVAC VEP-1000配備了以NbFeB永磁體和鋁線圈外殼開發的永磁設備。這個系統在磁性上將等離子體限制在反應堆內，導致等離子體密度增強，均勻性提高。VEP-1000還包括功能強大的微波發電機和電源系統,可實現靜音、穩定和安全的操作。ULVAC VEP-1000包括一個六袋式前體噴射器，允許向等離子體腔引入多達六種不同的前體。前體的註入角可以調節，以控制等離子體密度和均勻性。VEP-1000的最大沈積速率為10.4 nm/s，工藝溫度範圍為5至850 °C。ULVAC VEP-1000具有單軸可傾斜基板支架和內置冷卻單元,以提高工藝穩定性。內置晶圓冷卻機可以有效傳遞過程中產生的熱量。完整的VEP-1000工具基於開放的體系結構,允許高度的可配置性和與其他控制器、儀器和用戶應用程序模塊的兼容性。ULVAC VEP-1000設計為易於維護,包括用於定期清潔和維護模型內部部件的自動化維護資產。其強大的設計和自動化功能確保了可靠和可重復的過程結果以及較長的使用壽命。VEP-1000的高級自動化功能還大大減少了設置和維護時間,使其成為許多CVD應用程序的理想選擇。