二手 ULVAC VPC-260 #9296182 待售

ULVAC VPC-260是一種常用於等離子體來源的低壓電容放電（CD）反應器。這類反應器是蝕刻、沈積和表面改性等過程的理想選擇。VPC-260配備了數字工作控制器（DWC）,允許用戶精確控制過程參數,如電壓、脈沖持續時間和電容設置。ULVAC VPC-260的腔室由不銹鋼和鍍鎳銅構成。反應堆頂部的石英窗口允許用戶實時監控等離子體狀況，而反應堆的溫度範圍為30至200 °C有助於防止長時間運行過程中的過熱。VPC-260還配備了氣閘裝置，用於將sansrogen氣體引入室內。氣閘有助於降低汙染風險，因為過程氣體永遠不會到達主室。ULVAC VPC-260利用CD的雙脈沖模式，幫助產生來自等離子體的離子和自由基的高通量密度，以及來自低輸入能量的高功率。低輸入能量也有助於減少反應堆電極與其他等離子體源相比的磨損。VPC-260已被證明與各種底物兼容，如多晶矽、玻璃和砷化的。ULVAC VPC-260還具有無氣操作功能,這意味著不需要上遊氣體處理設備。這使得它成為各種工藝的理想選擇，特別是實驗室環境中的工藝，因為它節省了空間，易於操作。總體而言，VPC-260是一個可靠和通用的CD反應堆，為各種等離子體應用和工藝提供了極大的靈活性。憑借其高功率、低輸入能量和無氣運行，這座反應堆能夠滿足許多應用的需要。