二手 ULVAC ZX-1000 #9237357 待售

ULVAC ZX-1000
製造商
ULVAC
模型
ZX-1000
ID: 9237357
晶圓大小: 8"
PVD System, 8" (5) Chambers Preclean Ti TiN Loadlock.
ULVAC ZX-1000是一種先進的等離子體反應堆,設計用於一系列工業和研究應用。它配有多級螺旋管式噴射器,操作高效可靠,能產生高達10,000K的高溫等離子體。ULVAC ZX 1000由高壓脈沖直流(DC)發電機供電,實現了精確和可重復的等離子體生產。為確保最佳運行,反應堆的線圈配備了多點溫度監測設備,允許在運行過程中進行實時溫度調整。反應堆的結構是模塊化的,利用了一系列永磁和陶瓷元件,降低了系統的成本和復雜性,同時確保了可靠、可持續的運行。綜合磁場使反應堆周圍的等離子體均勻,限制汙染物擴散並增加等離子體的壽命。另外,等離子體的電子密度可以使用一系列電容器調節,使等離子體流量得到精確控制。ZX-1000還具有用於監測電子溫度和密度的精確等離子體控制和監測裝置。這臺機器提供了關於等離子體參數的準確可靠的信息,使操作得以優化以達到最大性能。該反應堆具有多種材料的一系列過程,包括導熱系數有限的過程,並證明了產生豐富的源等離子體的能力,包括氘和氧的產生。此外,可以利用反應器實現材料的表面處理和沈積。簡而言之,ZX 1000是一種先進的模塊化反應堆,能夠處理一系列工藝和材料,並具有精確的控制和監控系統,以確保最佳性能和安全性。其高效可靠的運行以及低廉的成本,使其成為各種工業和研究應用的誘人選擇。
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