二手 ULVAC ZX-1000 #9237358 待售

ULVAC ZX-1000
製造商
ULVAC
模型
ZX-1000
ID: 9237358
晶圓大小: 8"
PVD System, 8" (5) Chambers Preclean PZT Pt Loadlock.
ULVAC ZX-1000是為靈活高效運行而設計的高溫低真空等離子體反應器。這座反應堆能夠在低真空環境下達到高達1000 °C的溫度,為各種先進的加工和材料合成任務提供了理想的氣氛。它還被設計為適用於各種工藝應用、材料和工藝。ULVAC ZX 1000建有垂直於等離子體源的徑向磁場,是電子回旋共振設備和感應耦合放電源的組合。這種組合創造了理想的低真空環境,並提供了高密度的等離子體。這座反應堆還被設計為通過發射低水平的二次電子來盡量減少熱幹擾。ZX-1000配備了超高速數字供電系統。該設備可實現精確的電源控制和高效的運行。此外,反應堆設計為具有較低的工作溫度,從而減少熱量損失,並最大限度地減少對周圍部件的熱負荷。ZX 1000具有多種安全功能,例如其溫度控制機,可防止操作過程中溫度過高。它還具有緊急關閉能力,以及耐火布線和化學惰性密封劑等其他安全特性。ULVAC ZX-1000的獨特設計使其具有廣泛的應用,包括硬化處理、薄膜沈積和濺射。再者,它的設計可以適應任何需要低真空環境的實驗技術,由於其適當的溫度控制、高密度的等離子體以及精確的功率設置。ULVAC ZX 1000是為各種應用創建和維護優質材料的理想生產機器。
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