二手 VEECO 695 #9291133 待售

VEECO 695是一種等離子體處理反應堆，設計用於生產用於半導體、LED、光伏和醫療設備的精密、高精度元件。該反應堆采用先進的直接驅動永磁電動機和五軸龍門設備建造。該系統支持多個雙過程晶片以及一個晶片。695為高級等離子體處理提供了令人印象深刻的一系列功能,可根據特定的工藝應用進行定制。它采用內部開放式接口設計,支持多種技術。這個開放的界面使得它與VEECO等離子體源、離子束發生器和掃描橢圓儀兼容。它也有三種吸收模式。VEECO 695有兩個室組成反應堆。第一個用於固定工藝晶片，另一個用於固定等離子體源。工藝晶片直徑可達30英寸，厚度可達100微米。等離子體源在加工過程中能夠產生高達1.5 Torr的壓力。695具有獨特的單元界面，允許用戶遠程控制反應堆，以實現最大程度的控制和精度。內置的流程監控工具允許用戶實時監控流程參數並監控晶圓的進度。反應堆采用多區溫度控制機，可以保持腔室和晶圓的精確溫度。VEECO 695適用於廣泛的應用，從光掩模、電阻器、晶圓清洗到蝕刻、沈積、氧化過程。其先進的特性和設計支持高精度工藝，使反應堆非常適合最精確、要求最苛刻的等離子體加工需求。695獨特的設計、性能和多功能性相結合,使其成為任何應用程序的絕佳選擇。