二手 VEECO / DEKTAK K 465 I #9410042 待售
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ID: 9410042
優質的: 2010
MOCVD System
(2) EBARA ESA25-D Dry pumps
(2) LYTRON LCS7289G1 Chillers
Hydride lines: NH3, SiH4
MKS MFC Type
Alkyl lines:
Lines / SCCM
TMIn 1 / 1000 sccm
TMIn 2 / 200 sccm
TMGa 1 / 1000 sccm
TMGa 2 / 200 sccm+1000 sccm
TEGa / 1000 sccm
TMAl / 500 sccm+1000 sccm
Cp2Mg / 1000 sccm+2600 sccm
DEZn / 500 sccm+1000 sccm
RAUDA Baths:
RE235
(5) RE215
Power supply: 380 VAC, 3-Phase
2010 vintage.
VEECO/DEKTAK K 465 I是專門為底物的完整處理而設計的反應堆設備。它對沈積參數進行了極好的控制，並在大面積上實現了有效的階梯覆蓋和均勻的薄膜沈積。它在48 mm X 48 mm工作區工作時提供卓越的基板均勻性和卓越的操控性能。該反應器非常適合以納米顆粒規模生長單層、多層和合金薄膜。該系統旨在滿足包括半導體、研究和一般實驗室應用在內的廣泛行業的需求。可用於物理氣相沈積（PVD）、低溫氧化物沈積（LTO）和化學氣相沈積（CVD）等過程。它還具有模擬各種氧化物和氮化物剖面的能力。反應堆包括基板和樣品架、石英視口、空間分配口、快門、真空裝置、排氣閥、增長率監測儀、樣品架電源和冷卻風扇。所有這些組成部分共同努力以取得預期的結果。此外，該機采用高效機械快門設計，可以降低大氣對刀具的影響，從而提高精度和結果的均勻性。該資產基於「輕型室」和「強型室」的兩級方法。「光室」是最淺的腔室，具有較高的腔室壓力，允許均勻受控的批量加工，生長速率低。「強室」增加了對沈積過程的控制水平，並允許層的均勻性。通過采用多種增長速度和不同的腔室配置，該模型能夠在步進覆蓋、均勻性和薄膜質量方面取得優異的效果。VEECO K 465 I反應堆還設計有樣品持有者電源，可以準確控制溫度和生長時間。該設備包括一個多區域控制接口，允許精確處理沈積參數。此外,該系統還設計了一個板載診斷單元,可方便地對機器及其組件進行故障診斷。總體而言，DEKTAK K465I是一種先進和先進的反應堆工具，旨在滿足各種工業和應用的需求。它對基材加工提供了良好的控制,並確保了卓越的均勻性和性能.該資產可提供具有階梯覆蓋和均勻薄膜沈積的高質量結果，並能滿足最嚴格的工業要求。
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