二手 VEECO / DEKTAK K465 #9229665 待售

VEECO/KDEKTAK VEECO/DEKTAK K465反應堆設計用於沈積材料層，用於半導體工業中的薄膜沈積應用。它提供精確的高分辨率控制薄至0.1nm的層,以創建關鍵的三維結構。VEECO K465反應堆具有多用途雙運輸波紋管，能夠容納機器人、手動和單晶片索引配置等不同類型的底物轉移機制。運輸波紋管還允許精確、一致地整合多個反應堆部件。先進的波紋管設計確保了反應室內清潔穩定的環境，非常適合生產高質量的層。DEKTAK K465反應堆的真空系統也有助於其高效性能。采用帶有擴散器和液氮屏蔽冷捕裝置的渦輪泵建造，可產生較高的真空水平，減少泵送時間。這使得反應堆可以快速開始工作，不間斷地完成順序沈積運行。K465還提供先進的基板加熱能力。它有兩個不同的基質帶，即低溫和高溫帶，用於精確控制基質溫度。此外，這些區域還具有一個熱隔離的感光器，用於均勻加熱基板。反應堆具有復雜的控制邏輯,可確保在溫度升高時進行準確和穩定的控制。總體而言，VEECO/DEKTAK K465是一種精密薄膜沈積系統，非常適合制造精細的三維結構。其可靠的雙運輸波紋管提供精確的沈積控制，真空系統保證持續清潔的環境。此外，其基板加熱能力確保基板周圍的溫度均勻。總之，這些特性使其成為生產先進形式半導體技術的絕佳工具。