二手 VEECO / DEKTAK K465 #9383053 待售
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VEECO/DEKTAK K465是一種用於沈積和/或蝕刻控制的反應堆。它是一種石英晶體微平衡設備,致力於執行其他分析技術,如橢圓偏振、光學幹涉測量和掃描電子顯微鏡。這種反應器經常用於先進集成電路(IC)的研究和制造。VEECO K465由若幹組成部分組成,這些組成部分共同努力實現精確的過程控制。反應堆的核心是一個石英-晶體-微平衡晶體電池,用於測量極少量的質量沈積和蝕刻。該系統還包括一個超快數字成像單元,用於監測沈積和蝕刻過程。該機還包括一個用於濺射和離子蝕刻的離子源,用於大氣控制的真空泵,以及多種其他組件。DEKTAK K465在控制過程參數方面提供了卓越的精度、準確性和可重復性。它可以產生低至單個納米範圍的超高分辨率測量,非常適合在一定溫度和壓力範圍內的沈積和蝕刻技術。該反應器還用於研究和測試金屬、半導體、絕緣體等多種不同的材料和底物。雖然最初主要是為IC加工研發而設計的,但K465也用於其他行業,如汽車、化學/工藝和醫療設備制造。該反應堆能夠在等離子體過程中提供卓越的性能,並為這些行業執行更快、更高分辨率的測量。總體而言,VEECO/DEKTAK K465是一種先進且功能強大的反應堆,用於各種工業和應用。該工具極其可靠,無論正在處理的環境或材料如何,都能產生高度精確的結果。對於任何涉及半導體加工和沈積/蝕刻控制的研發項目,都應考慮VEECO K465。
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