二手 VEECO E450 #293641838 待售
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VEECO E450是半導體晶圓加工的完整交鑰匙解決方案。它是一種多用途蝕刻沈積反應器，設計用於制造復雜的半導體元件。反應堆由一個完全封閉的水平櫃子組成，包含反應堆的堆芯組件。櫥櫃左側是工藝室，裏面裝有初級電化學電鍍電池和電阻氣體蝕刻電池。該工藝室由可編程邏輯控制器（PLC）操作，提供對反應堆環境的精確控制。機櫃右側是熱交換器，它將熱量從加工室傳遞到反應堆冷卻系統。冷卻系統由一系列冷卻板、風扇和油冷卻器組成，確保反應堆保持所需的溫度。熱交換器還負責調節反應堆真空的靜壓。靜壓對於反應物在底物上的受控施用至關重要。進程分庭分為三個進程領域，每個領域都有自己的進程和控制。第一個工藝區域是鉑金沈積室，利用電化學工藝在基板上沈積鉑金等金屬。鉑金沈積室裝有氣體噴射控制器，可以在過程中精確控制反應物。第二個工藝區域是電阻氣體蝕刻室，利用高頻等離子體將復雜結構蝕刻到基板上。該室配有閉環溫度控制系統，確保了穩定的蝕刻環境。第三個加工區域是反應性離子蝕刻室，它結合物理濺射和離子蝕刻，在基板上產生復雜的圖樣。E450是一種用途廣泛、用戶友好的反應堆，旨在制造各種半導體元件。VEECO E450具有精密的控制系統和精密的工藝，是半導體行業制造專業人士的理想選擇。
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