二手 VEECO E450 #293641839 待售
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VEECO E450是一種原子層沈積（ALD）反應器，用於沈積具有高度共性和均勻性的薄膜。它是一種多功能工具，旨在滿足薄膜沈積、外延生長、蝕刻等規模較小的半導體制造工藝的要求。該反應器具有極好的工藝重復性和精確度，產生更高的產量和改進的整體工藝控制。E450配備了雙源低能電子束蒸發設備和可變金屬氧化物源。這種蒸發器允許將優質薄膜沈積到均勻性、厚度和均勻性得到改善的基板上。金屬氧化物源能夠生產厚度極窄的薄膜，這對於高性能器件的制造具有重要意義。此外,系統還可以配置為執行各種不同化學成分的ALD工藝和薄膜。VEECO E450具有先進的單元級控制機,可提供精確的溫度、時間和壓力控制,從而提高工藝產量和控制能力。該工具具有控制超過25個過程變量的能力，以實現所需的沈積結果。它還具有集成的計量和分析功能來測量薄膜厚度和質量,以及促進高級工藝控制。E450反應堆是為靈活的生產過程而設計的，具有較高的運行時間、可重復性和可靠性。它采用現代化、先進的部件和技術建造，包括兩個低溫反應室、一個快速循環負載鎖和高效的低電離泵送系統。此外，工藝開發和測試可以在其綜合測試室內進行。VEECO E450反應堆是制造先進半導體器件的關鍵設備。它是一種易於使用的資產，提供出色的膠片均勻性、高收益和可重復性。此外，通過先進的模型水平控制和綜合計量，確保了所需的薄膜沈積效果的一致實現。
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