二手 VEECO E475 #293641835 待售
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VEECO E475是一種設計用於生產非常高純度材料的反應堆。這是用反應堆真空爐內的熱量、高壓和真空的組合來完成的。爐子的溫度範圍為1400 °C，而電極的高壓額定值可以在200-10,000 V之間，使得各種金屬或合金能夠沈積到基板上。反應堆具有可選的獨特全金屬熱壁設計，額定最大壓力為10-4 torr。此外，一種反應氣體進氣和排氣設備允許各種氣流分別高達15 sccm和200 sccm。這允許精確控制的Ar、O2、N2和其他分子用於沈積過程。該爐還有兩個無油泵系統，一個用於工藝供應（14.7 psi），一個用於真空室。對於真空室，抽水系統由冷創傷渦輪分子泵和渦旋泵組成。這兩種型泵結合了通過一扇門打開和關閉工藝室的能力，不僅對工藝室內的大氣提供了非常精確的控制，而且保證了非常幹凈的操作。控制單元允許客戶使用內置觸摸屏設置和監視所有操作。使用此控制機器,客戶可以微調氣流、壓力和電源設置,以最大限度地提高各種基材的沈積速率和均勻度。E475是一個可靠和易於使用的反應堆，可以生產高質量的材料。這種反應堆非常適合從納米結構到復雜模式的許多應用，因此非常適合工業和學術測試或研究。
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