二手 VEECO / EMCORE D125 #293793344 待售

VEECO/EMCORE D125是一種高功率垂直電子回旋共振（ECR）磁控管濺射反應器，設計用於多種濺射沈積應用。反應堆有一個垂直的鉬陰極和一個陽極，可以接受直徑可達125毫米的目標。烤箱能夠以可能的3 Torr下限支撐高達6 Torr的壓力，並具有獨特的氣體混合器噴嘴，在沈積區創造出一致和均勻的氣體環境。反應堆由ECR微波功率提供動力，配備短波導，波導開口大至125毫米。這允許ECR微波功率的直接波導耦合，以提高沈積速率和電離效率。VEECO D125工作頻率為13.56 MHz,具有嵌入式電源控制系統,可精確控制ECR微波功率水平。動力控制系統還允許增強對目標大小、目標形狀、沈積速率、基壓、微波功率等系統參數的配方控制。反應堆提供各種加熱選項，包括最多三個射頻加熱源和石英燈加熱，以及用於溫度測量的綜合高溫計。安裝了高溫計後，烤箱也可用於氧化和退火過程。采用EMCORE D125的石英燈加熱燈具有可調強度，有紅外、紫外線和深紫外線，高度可調，可精確加熱基板。除了它的特點外，D125反應堆還可以定制以滿足客戶的需求，比如從幾個基壓條件中進行選擇，定制目標線束長度和陽極設計，以及可選的可配置ECR遠程源。該反應堆還獲得了用於危險區域環境的認證，並具有廣泛的分類，包括ATEX和IECEx。這使得它適合多種應用，包括工業、研究和大學實驗室。總體而言，VEECO/EMCORE D125是一種高效、可靠和可定制的反應堆，旨在提供無與倫比的性能和質量沈積。反應堆提供了一系列靈活的選擇，是各種濺射沈積應用的絕佳選擇。