二手 VEECO / EMCORE D180 GaAs #9031463 待售

ID: 9031463
優質的: 1999
MOCVD System Throughput: 6" x 2" MO Sources: TMAl-1, TMGa-2, DEZn-1, TMIn-1, CCl4-1 Hydride sources: PH3, AsH3, H2, N2, Si2H6, H2S Epison III for TMIn IEM (GB) 1999 vintage.
VEECO/EMCORE D180 GaAs反應堆是一種生產級先進的氣相沈積工具,用於半導體工業的加工應用。這種反應堆能夠高容量、一致地生產高質量、基於GaAs的組件和材料,用於各種應用,如光子、太陽能電池和光電器件。該設備由真空沈澱室、汽化室和排氣塗層三個主要部件組成。真空沈積室容納基板,安裝在基板支架上,用於容納蒸發、濺射和其他膜沈積過程。腔室設有原位石英視口,允許實時監測生長過程。汽化室用於源材料的供應,然後輸送到基板上。氣體可以進入室內,以協助或改變沈積過程。排氣塗層有助於保持沈積室內的均勻真空壓力,從而確保材料沈積的最佳工藝條件。VEECO D180 GaAs反應堆的設計可在大溫度範圍內運行,最高可達550攝氏度,實現高溫氣相沈積和金屬電鍍,包括金、鋁、銅。該系統具有快速的沈積速率,可實現高組件吞吐量。反應堆裝有標準USB端口,用於與其他機器或控制器通信。該裝置還具有嵌入式處理功能,包括視頻流、金屬鹽合成和直接控制沈積速率,從而能夠自動控制沈積過程。該機符合所有安全標準,並具有先進的安全設計,包括集成過程控制、水冷、安全措施和緊急關閉系統。EMCORE D180 GaAs反應堆易於使用,維護服務方便.可以使用該工具處理各種材料和組件,進一步擴大應用範圍,使半導體組件的生產更加高效。
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