二手 VEECO / EMCORE D180 #293760075 待售

VEECO/EMCORE D180是一種緊湊型半導體反應堆,專為表面圖樣設計.它利用前體氣體和高能電子束將半導體材料薄膜沈積在基板上。該設備旨在提供對工藝參數的極其精確的控制，確保在將保形薄膜沈積到基板上時具有高度的可重復性和精確度。VEECO D180配備了強大的電子槍，產生約7.5安培的束電流和高達500kV的加速電壓。它采用雙陽極構型，用於更高均勻度的電子束。該反應器還包括一個石英監測室，用於觀察薄膜沈積的進展情況，從而便於優化各種材料應用的工藝。EMCORE D-180還配備了一個新穎的過程互鎖系統,該系統在檢測到過程中斷時立即關閉光束,從而防止損壞基板。該裝置采用高效的風扇輔助減肥機，旨在捕獲有害物質並將其運送到二級處置裝置。減排工具采用了HEPA過濾器和碳過濾器，以確保危險材料能夠有效和安全地從工作區域運出。資產利用創新的模式技術，如「底物掃描」，以完全控制沈積過程。EMCORE D180支持多種模式技術，包括掩碼工藝、掃描線工藝和新穎的「快速沈積工藝」。該模型還配備了高性能控制器，以確保沈積過程得到準確監控，確保過程參數得到有效調整，使產量最大化。VEECO/EMCORE D-180的設計使得它非常適合各種半導體應用，如MEMS制造、電子封裝、ODIC和光電器件。它旨在為其預期的應用程序提供一個可靠、穩定、可重復和經濟高效的生產過程。