二手 VEECO / EMCORE D180 #9178724 待售

VEECO/EMCORE D180是一種大氣壓力等離子體反應器，設計用於氧化物、氮化物、金屬和矽化物的正離子註入和沈積。它具有一個長卵形腔室，便於使用一對旋轉的偏轉板均勻分布氣體。與傳統的凸輪驅動設計相比,它靈活的設計便於修改,並提供了出色的工藝一致性和可重復性。反應堆裝有兩個大小形狀可變的石墨電極，以適應不同的植入物要求。與傳統的離子噴槍相比，內部絕緣能確保更高的過程電離和更高的植入物強度，而自偏置發射器即使在大過程變形時也能保持穩定的放電。主要等離子體源利用感應耦合使各種過程氣體電離，包括過程控制和數據采集硬件。每個電極的端面被開槽，以增加分離電子與離子種類的磁場。實現等離子體穩定性所需的磁場量隨著腔室半徑的增大而增加，確保整個腔室內的總等離子體密度一致均勻。VEECO D180具有先進的供氣系統和質量流量控制器,可精確輸送和選擇氣體。氣體混合物可以實時改變，自動調壓保持對腔室壓力和基板溫度的精確控制。系統在運行過程中捕獲所有電流和電壓數據以進行全過程監視和控制,還可以通過以太網連接從外部進行監視。最後，系統可以連接到退火爐，允許樣品退火後。低運行溫度和先進的排放控制機制將對環境的影響降至最低。因此，EMCORE D-180是一種成本效益高、環保的等離子體沈積設備，具有優異的沈積特性和工藝能力。