二手 VEECO / EMCORE D180 #9224745 待售

VEECO/EMCORE D180是為納米級沈積應用而設計的最先進的反應性離子蝕刻（RIE）反應器。這款高性能設備將真空沈積蝕刻的最新技術與先進的控制算法相結合，提供可靠性和精確度。VEECO D180能夠實現納米精度的復雜結構。EMCORE D-180采用先進的雙源屏蔽體系結構設計,以確保更統一的空間蝕刻輪廓。這種設計，加上電子束柱中多晶片磁化率線圈的均勻性，使得層均勻性和可重復性優於基板。D-180還包括一個獨特的氣體系統設計，確保整個沈積室的氣體流動均勻，以加強過程控制。該單元的晶片的高速旋轉允許一致的產品沈積，提高過程的可靠性。此外，該腔室還配備了熱敏電阻、氣體傳感器、隔膜、加熱器等多種設備友好組件，用於精確的溫度控制和向腔室的精確氣體輸送。機器還可以控制其電磁場的強度，甚至可以調節能量色散X射線（EDX）光束。EMCORE D180具有高度可配置性,並具有其他功能,如靈活的工藝軟件、低噪聲風扇系統和自動清洗站。所有這些特征與VEECO專有設計和質量工程相結合，使D180能夠用於精確蝕刻和沈積納米級結構。此外，該工具可以在每個加工站支持多達六個等離子體源，從而提高機器的性能和靈活性。VEECO D-180還可以實現高達400毫米/分鐘的高吞吐量應用速度。它配備了一個診斷室，能夠對流程進行詳細的診斷和微調，從而無需聘請專業的操作/維護技術人員。通過利用資產的先進設計和技術,VEECO/EMCORE D-180可用於生產納米結構材料和層,使制造商能夠創建高性能的產品和組件。VEECO/EMCORE D180是一種高度先進的模型,可為各種納米級應用程序提供一致、可重復的性能和質量。