二手 VEECO / EMCORE D300 #9142693 待售

VEECO / EMCORE D300
製造商
VEECO / EMCORE
模型
D300
ID: 9142693
晶圓大小: 4"
MOCVD System, 4".
VEECO/EMCORE D300是為生產發光二極管(LED)而設計的快速熱處理反應器。反應堆設有密封至50 Torr的工藝室,以保護工藝大氣。該單元還具有內置的雙區水平或垂直感受器設備、絕緣垂直法蘭以及水平或垂直氧化鋁感受器。對於需要更高溫度精度的過程,磁感器系統可實現更好的溫度均勻性。該裝置的溫度範圍為10°C-900°C,可變加熱速率高達200°C/s,可快速熱處理。它具有由惰性、活性和反應性氣體組成的工藝氣氛,最多可容納15個管式爐。它還配備了高壓和溫度安全監視器,以防止在處理過程中超壓/過采樣。設備提供過程控制,包括時間、溫度、壓力和其他幾種參數設置。其數字化控制機器提供精確的過程控制,包括數據記錄和對過程中和過程後信息的分析。該單元有一個全封閉、風冷的電動工具和不銹鋼結構,可以提供長期的耐用性。它還包括一個雙絲技術,可更換片狀LED,提供可靠和可重復的性能.該單元的設計便於安裝和維護。其直觀的界面允許方便的設置、維護和操作。VEECO D300的整體效率等級為90%,殘留輻射為10%,環境溫度等級為90°F。其設計適用於各種LED應用,如背光燈、日間行車燈和薄膜顯示器。也適用於半導體材料的研發。該裝置具有快速疏散資產,處理時間短,低熱質量感應器模型,可在需要時快速熱關閉。它還提供溫度均勻至900 °C的單發應用程序。
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