二手 VEECO / EMCORE D300 #9250874 待售

VEECO/EMCORE D300是一種射頻感應耦合等離子體（ICP）反應器。是用於制造高品質、高純度多晶矽薄膜的工具。它是為8「和12」晶片的垂直或水平操作而制作的，占地面積小，適合工業規模生產。VEECO D300利用ICP在反應堆室內產生高度電離的點源等離子體。ICP通過產生一個高頻場來創建等離子體，該場在等離子體內感應電流並創建一個高度電離的點源。高度離子化的點源等離子體是關鍵，因為它促進高溫、電子密度和反應堆室內的均勻性。EMCORE D300配備了三種不同的感受器。這些用於安裝晶片，調節溫度，以及保護矽在等離子體暴露期間不被蝕刻。D300的閉環控制設備提供精確的氣體流量控制，使用戶可以精確調整流量，為不同的多晶矽膜創建定制配方。VEECO/EMCORE D300還配備了氣體中和系統，以幫助盡量減少多晶矽工藝過程中產生的副產物的影響。反應堆的設計目的是促進均勻的溫度、電子密度以及工藝鏈和配方。VEECO D300采用先進的兩區射頻輸電裝置,可對射頻場進行更大的控制。這兩個區域可以獨立調整，為優化處理提供理想、平衡的環境。EMCORE D300還具有一個高質量的石英沈積室，在該過程中包圍和保護晶圓。沈積室的設計旨在確保均勻沈積，並盡量減少晶片上可能出現的任何缺陷。總體而言，D300提供了一個堅固、高效的ICP反應器，可促進高質量、高純度的多晶矽薄膜。其閉環控制機和雙區射頻送電工具為工業應用提供可靠耐用的性能。其石英沈積室可確保均勻沈積，並有助於最大限度地減少晶片上可能出現的任何缺陷。