二手 VEECO / EMCORE D300 #9264313 待售

VEECO/EMCORE D300是一種D型高壓電子束物理氣相沈積（EB-PVD）反應器。它專為生產高品質的薄膜太陽能應用而設計，包括多結集中器電池、柔性電池和模塊以及商用級模塊組件。VEECO D300反應器具有低磁性雜散場，對多結集中器電池的加工具有重要意義。它還為實現精確、可重復的薄膜太陽能應用提供了必要的高均勻性。該反應堆包括一種熱隔離系統構型，對低源底熱負荷有效。它還具有低氣鎖容積設計,由於較短的熱循環,可用於更高的吞吐量。該反應器具有閉環溫控系統，可實現最高的薄膜厚度和層均勻性控制。EMCORE D300反應堆配有先進的光學器件，有助於形成高質量的金屬和氧化物薄膜。它有一個先進的直流偏置系統，可以在曲面上平滑沈積，並且可以產生均勻的多層結構。D300反應堆還包括生產薄膜太陽能應用所必需的先進物理氣相沈積技術。這些包括EB鍍層、多區PVD能力，以及離子輔助沈積以獲得特定的光學性質。VEECO/EMCORE D300反應堆能夠進行高溫處理，溫度可達1,000 °C。它還配備了自動清洗能力，這意味著停機時間最短，產量提高。此外，VEECO D300反應堆由堅固的部件構成，如不銹鋼真空室和烤箱室，確保了最高質量和可靠性。