二手 VEECO / EMCORE D9000 #293765079 待售

VEECO/EMCORE D9000是為電子、半導體和光學行業的研發沈積過程設計的強大反應堆。VEECO D9000反應堆能夠在盡可能高的加工溫度下處理多種材料，具有出色的吞吐量、均勻性和精確度。它是業界最先進的幹蝕刻和沈積處理系統之一,以單一封裝提供卓越的靈活性和性能。反應堆的設計具有高達800 °C的高溫處理能力，以及高達10 Torr的0.1 mBar令人印象深刻的壓力範圍。EMCORE D9000的溫度和壓力控制允許改進對沈積和蝕刻過程的控制,從而提高精度和可重復性。D9000具有各向異性蝕刻能力，使用Ar/O2共濺射技術。腔室也有廣泛的工藝氣體選擇，包括NF3、SF6、三甲基鋁等特殊氣體。VEECO/EMCORE D9000處理能力大，具有x、y、z掃描儀、等離子源延遲、離子源能量和速率控制、RF功率控制、原位石英反射率等廣泛的可選特性，適合廣泛的應用。該系統具有先進的沈積和蝕刻特性，可實現更高的加工溫度和更高的薄膜沈積均勻性。VEECO D9000還具有高性能溫度監測以及先進的計量和成像功能,以便能夠快速分析、比較和驗證處理運行的結果。反應堆還包括用於擴展控制、監測和實時數據分析的CIMS（工藝儀表管理系統）和SYS-Control（靈活的工藝自動化系統）。這樣可以實現更高效、更明智的日常操作,從而實現更高效、更準確的流程優化。EMCORE D9000是一種先進的反應堆，非常適合用於半導體、電子和光學工業的研發沈積過程。它的高溫處理、廣泛的可選功能、先進的控制系統和監控使其成為功能強大且用途廣泛的工具。它旨在幫助確保沈積和蝕刻過程的最高精度和可重復性。