二手 VEECO / EMCORE D9000 #9196536 待售

VEECO/EMCORE D9000反應堆是一種最先進的電磁（EM）現場反應堆，設計用於制造、測試和研究應用。反應堆獨特的設計為支持電子等離子體加速度和微波擊穿提供了最佳磁性環境，使反應堆可用於多種應用。其等離子體生產能力對於制造復合薄膜以及用於半導體加工的外延晶片至關重要。反應堆提供超高射頻（RF）功率能力，使其能夠在各種工藝溫度和壓力下以更高的效率運行。利用近場效應使其能夠在典型的運行時間內獲得較高的產品產量。反應堆還包括精確的熱和流體控制系統，使其與現有真空技術高度兼容。此外，它的可調磁場允許靈活控制等離子體特性，如組成和溫度。VEECO D9000反應堆也有可選的自動對準和診斷監測系統。這些能夠在操作人員參與程度最低的情況下進行精確的設備診斷。此外，反應堆在系統一級包括預編程和用戶定義的反應堆序列，允許針對特定工藝需求進行最大限度的優化。EMCORE D9000反應堆的集成軟件創造了一個效率更高的環境，便於快速測量和校正。它允許動態單元控制參數，可以遠程監控機器性能和過程變量，如腔室壓力、射頻發電機輸出和輸入功率水平。D9000反應堆還提供先進的能源管理功能，如自動關閉序列和發電機輸出的計時器控制。創新的快速致動快門、自動壓力控制和自動射頻調諧的集成確保了反應堆的精確控制，使得過程性能可重復，過程結果可精確重復。這些創新使得VEECO/EMCORE D9000反應堆成為一個高度可靠和適應性強的單元，非常適合制造、研究和測試應用。