二手 VEECO / EMCORE E300 GaNzilla #293749112 待售

VEECO/EMCORE E300 GaNzilla是一種金屬-有機氣相外延（MOVPE）反應器系統，設計用於半導體工業中的氮化​​氙（GaN）晶體生長。為實現最大的生產率和可擴展性而進行了優化，使其增長率達到傳統MOVPE GaN反應堆的3倍。VEECO E300 GaNzilla的獨特設計包括一個創新的高效排氣捕獲系統，以改進過程控制和減少顆粒汙染物，使GaN晶體能夠以最高純度和最高質量生長。它還采用低溫低壓工藝，降低熱應力，提高晶體質量。EMCORE E300 GaNzilla采用高壓諧振頻率增強型（RFE）氣體噴射技術,無需手動控制氣體,從而降低了復雜性,提高了穩定性和準確性,減少了系統中的活動部件。E300 GaNzilla配備了先進的VEECO腔室技術，具有嵌入式碳化矽散熱器和可調節反應堆位置控制器。這允許精確控制反應堆腔內的溫度、壓力、均勻性和分布，從而為高質量的GaN外延優化了一個過程。VEECO/EMCORE E300 GaNzilla具有內置的安全和保護功能,可提供安全、高度可靠的增長過程,包括氣體和電源監控、主動超壓保護、離子網電流控制和氣流控制。VEECO E300 GaNzilla將卓越的成本效率和可擴展性與強大的設計和控制功能相結合。其獨特的工藝能力和先進的EMCORE腔室技術符合最高標準，使其成為種植GaN晶體最具挑戰性應用的理想選擇。