二手 VEECO / EMCORE E300 GaNzilla #293751365 待售

VEECO/EMCORE E300 GaNzilla是一種等離子增強化學氣相沈積（PECVD）反應器。它是一種高性能的沈積工具，用於沈積和生長均勻的氮化氙（GaN）和其他材料的塗層。GaNzilla設有大型反應室，能夠處理大型底物，並有500 °C至1300 °C的製程窗。它有一個快速的負載鎖定系統，快速的斜坡上升和快速的過程周期。反應堆使用射頻（RF）等離子體源，提供高密度等離子體，對物種的控制得到改善，塗層高度均勻。GaNzilla專為高效率的GaN沈積而設計,允許使用設置最少的現成系統。它也有一個集成的基板加熱系統與運動耦合，以確保高基板均勻性。用戶可以輕松控制過程的參數，如等離子體功率、氣流和基板溫度，以確保優化的最終產品。反應堆還具有可變腔室幾何形狀，使過程適應特定樣品的需要。VEECO E300 GaNzilla包括一個靈活的PC/PLC控制模塊，它允許用戶根據自己的需要定制反應堆。它還包括多個安全功能，以確保反應堆正常運行，不會發生事故。總體而言，EMCORE E300 GaNzilla是一種高性能反應器，可用於高效可靠的GaN膜沈積，周期時間比其他系統低。由於其先進的特性，GaNzilla可以用於為許多不同的應用生產高質量的薄膜，從半導體器件到微機電系統。