二手 VEECO / EMCORE E300 GaNzilla #293759445 待售

VEECO/EMCORE E300 GaNzilla是一種反應堆設備，用於制造大量基於高性能的氮化​​的場效應晶體管（FETs）。GaNzilla是一種在高頻（HF）直流（DC）基底偏置電源上工作的直流（DC）閉環反應式濺射沈積系統。GaNzilla能夠生產高質量的GaN材料，並對沈積過程進行微調控制。該單元非常適合需要不同GaN合金系統和高性能設備的應用。GaNzilla由RF電源和RF發電機兩部分組成。射頻電源負責操縱射頻信號的頻率進行沈積。這控制了沈積材料的結晶結構。射頻發生器負責在真空條件下向工藝室陰極輸送所需功率。VEECO E300 GaNzilla機采用基於單晶片感受器的沈積工具，這意味著基板與腔室的其余部分隔離。這確保了沈積過程中的均勻性和可重復性，並防止了來自外部來源的汙染。該資產的工藝室設計為允許快速疏散和重新填充高質量的濺射沈積材料的工藝室。GaNzilla允許在沈積過程中使用廣泛的材料，包括高質量的基於GaN的材料如AlGaN、InGaN、摻矽GaN和AlInGaN。這些材料能夠生產高性能設備，如FET和高壓應用。GaNzilla還支持先進的過程控制功能，包括溫度控制、分壓控制、偏置射頻功率控制和可變壓力控制。這些功能允許精確調整和控制沈積過程,從而導致FET和其他高性能設備的持續高產量。EMCORE E300 GaNzilla非常用戶友好,它具有觸摸屏界面和食譜庫,用戶可以輕松擴展和實施最先進的流程。這使得用不同的沈積技術和材料進行試驗變得容易，同時保證了沈積過程的魯棒性和可重復性。總體而言，E300 GaNzilla是一種多功能反應堆模型，能夠在短周轉時間內生產先進的基於GaN的FET和其他高性能設備。其令人印象深刻的一系列過程控制功能,加上用戶友好性,允許靈活和高性能的沈積過程。