二手 VEECO / EMCORE E300 #293652202 待售
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VEECO/EMCORE E300是一種高度先進的化學氣相沈積（CVD）反應器，設計用於生產薄膜、異質結構或薄膜器件。VEECO E300是一個單晶片、多站CVD反應堆，能夠同時沈積III/V和Si基材料。EMCORE E 300獨特的設計既實現了高吞吐量,又實現了卓越的均勻性,從而實現了高質量的薄膜材料生產。E300由剛性不銹鋼制成，既耐用又易於維護。VEECO/EMCORE E300由四個單獨包含的加工站組成，每個站容納一個單晶圓。除了不同的壓力外，每個加工站還能夠感應到700攝氏度的溫度，以優化薄膜沈積工藝。利用先進的盒式磁帶到盒式磁帶系統將晶片從一個站傳輸到另一個站，而VEECO E 300的優越壓力能力使得能夠利用各種CVD氣體，以創造最佳的沈積環境。除了溫度和壓力調節外，EMCORE E300還配備了多種先進的傳感器，設計用於監測四個腔室中每一個的參數，以保持盡可能高的效率。E300的高級功能,例如卓越的基板溫度控制,可實現快速均勻的沈積,而不會顯著影響熱敏感性或降低材料質量。利用熱壁CVD工藝進一步提高了沈積速率。此過程允許在單晶片上創建多層材料,此過程通常只需幾秒鐘即可完成。此外，為了優化沈積物料的質量和均勻性，在層層形成後實施快速冷卻工藝。VEECO/EMCORE E300用戶友好,提供直觀的圖形用戶界面（GUI）,任何合格的技術人員均可輕松操作。GUI的直觀設計能夠控制任何工藝參數以及生產高質量薄膜材料所需的任何調整。VEECO E300是一種先進的CVD反應器，能夠在多種材料中實現卓越的薄膜生產。其先進的性能使高質量薄膜材料能夠快速均勻沈積，具有更強的熱特性和最小的壓力損失。其圖形用戶界面還提供任何合格的技術人員輕松操作。EMCORE E300是任何希望最大限度地提高生產能力的研究或工業設施的絕佳選擇。
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